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2013年止，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統逐漸被干式螺桿真空泵所替代。
非耀無油螺桿真空泵
機械真空泵及其組成的抽氣系統面臨著兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。然而以上這些問題，對于干式螺桿真空泵來說都不算問題。
干式螺桿真空泵具備抽速大、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油無水環保節能等優點。干式無油螺桿真空泵由于其優越的性能，在微電子、半導體、制藥等行業得到大家的認可。
無油變螺距螺桿真空泵溶劑回收機組用在醫藥中間體生產抽真空
對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能完全解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式螺桿真空泵，則可以達到理想的使用效果。
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