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半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)對(duì)真空潔凈度、負(fù)壓穩(wěn)定性有著極致嚴(yán)苛要求，傳統(tǒng)油封泵、水環(huán)泵易出現(xiàn)油霧返流、腐蝕卡泵、壓力波動(dòng)大等問(wèn)題，嚴(yán)重影響晶圓良率。螺桿真空泵憑借專(zhuān)屬設(shè)計(jì)，成為半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)升級(jí)剛需設(shè)備，為企業(yè)提質(zhì)、降本。

LGB70無(wú)油螺桿真空泵用在有機(jī)硅生產(chǎn)工藝

螺桿真空泵結(jié)構(gòu)是其核心優(yōu)勢(shì)，泵腔全程不添加潤(rùn)滑油，從根源杜絕油蒸氣污染晶圓與鍍膜層，完美匹配半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間潔凈標(biāo)準(zhǔn)，大幅降低芯片雜質(zhì)報(bào)廢率。設(shè)備過(guò)流部件采用防腐涂層與不銹鋼材質(zhì)，可耐受氟化物、氯化氫等腐蝕性工藝尾氣，搭配前置過(guò)濾裝置，能處理微量粉塵顆粒，長(zhǎng)期運(yùn)行不易堵塞、腐蝕失效。

螺桿式真空泵抽速可調(diào)、真空度穩(wěn)定，壓力波動(dòng)極小，可快速建立制程所需負(fù)壓，縮短腔體抽氣等待時(shí)間，有效提升產(chǎn)線(xiàn)流轉(zhuǎn)效率。變頻節(jié)能設(shè)計(jì)適配雙碳新國(guó)標(biāo)，相比老舊泵組能耗顯著降低，無(wú)廢油、廢水排放。

螺桿真空泵非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)，易損件少，維護(hù)周期長(zhǎng)達(dá)數(shù)千小時(shí)，無(wú)需頻繁更換機(jī)油，大幅減少停機(jī)檢修時(shí)間，24小時(shí)連續(xù)量產(chǎn)無(wú)壓力。我們是一家實(shí)體工廠(chǎng)，可根據(jù)工況環(huán)境定制真空機(jī)組，上門(mén)服務(wù)。