氣冷式羅茨真空泵利用兩個8字形轉子在泵殼內旋轉,產生吸排氣效果。由于在低壓范圍內工作,氣體分子自由度大,氣體通過小間隙阻力大,可獲得較高的壓縮比,氣冷羅茨真空泵可用作增壓真空泵。
非耀氣冷式羅茨真空泵
羅茨式真空泵根據泵體結構可分為兩類:一類為普通型,另一類為直排大氣型。除結構外,主要區別是普通羅茨泵不能單獨將氣體直接排入大氣,需要與前真空泵串聯使用,通過前真空泵將氣體排入大氣。后者即氣冷羅茨真空泵可以直接將被抽氣體排入大氣。普通羅茨泵可分為普通泵和帶旁通閥泵。當壓差超過各規格泵的規定值時,旁通閥自動打開,泵出口的氣體通過旁通閥返回進口,使泵安全運行。由于羅茨泵的轉子受力面積大,在壓差大的情況下運行,泵的負荷會變得很大。
氣冷羅茨真空泵的工作原理:工作時,泵送的氣體從進氣口進入轉子和泵體之間。此時,一個轉子和泵體將氣體與進氣口分開,分離的氣體沒有壓縮和膨脹,但當轉子的峰值轉向排氣口邊緣時,由于部分的壓力低于排氣口。為了使相連體積內的壓力均勻,氣體會從排氣口擴散,其擴散方向與轉子旋轉方向相反。當轉子再次旋轉時,將轉子再次旋轉。氣體壓縮到排氣口排出。此時,轉子的另一側與進氣口的連接部分吸入氣體。當轉子不斷旋轉時,上述抽氣過程不斷排出氣體。這個工作過程相當于將轉子空間從小值增加到大值,然后從大值減少到小值。這就是氣冷羅茨真空泵的工作原理。