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螺桿真空泵是利用兩個相平行的等螺距螺桿，在泵腔中作同步高速反向旋轉而產生吸氣和排氣作用。兩螺桿經過精細動平衡處理，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間有一定間隙，因此變頻螺桿真空泵工作時運行平穩，相互之間無摩擦，工作腔無需工作介質。

非耀干式螺桿真空泵

螺桿真空泵能抽除含有大量可凝性氣體及粉塵的氣體，是環境友好型、節能型真空泵。不僅如此，變頻螺桿真空泵還具備以下特點：

1、工作腔及螺桿轉子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況。

2、氣體在泵內無壓縮，適宜抽取可凝性氣體。

3、不耗油，無滴漏。

4、結構簡單，維護方便。

5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環保壓力，氣體回收更便捷。

變頻螺桿真空泵是油封式機械真空泵、液環式真空泵、往復式真空泵的更新換產品。內裝有一對平行的螺旋狀的轉子，旋轉方向為右旋，一個為左旋，兩個轉子在泵體內通過一對齒輪保持同步反向旋轉。轉子與轉子之間、轉子與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了多個密封腔，密封腔的個數等于轉子的螺旋圈數。

無油螺桿真空泵用在化工反應釜抽真空

變頻螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發達國家，干式無油螺桿真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的有油泵。